芯源微688037：光刻機龍頭股。

作為與光刻機配合進行作業(yè)的關鍵處理設備，公司生產的涂膠/顯影機成功打破國外廠商壟斷并填補國內空白，其中在LED芯片制造及集成電路制造后道先進封裝等環(huán)節(jié)，作為國內廠商主流機型已成功實現進口替代；通過多年的技術研發(fā)、實踐應用積累以及持續(xù)承擔國家02重大專項，公司成功突破了應用于集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)的涂膠顯影設備技術，成型產品目前正在長江存儲、上海華力等前道芯片制造廠商進行工藝驗證。